Gocator 4010

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Gocator 4010
詳細
Gocator 4010は、LMIテクノロジーによって開発された高速で高解像度3D共軸共焦点センサーです。シャドウフリーで高精度のインライン検査用に設計されており、非常に反射的で湾曲した表面であっても、優れた測定精度を提供します。 1.9μmの超洗練されたX方向解像度と最大±85度の広い互換角度により、半導体製造、家電、電力バッテリー生産のアプリケーションに最適です。
カテゴリー
Gocator 4000 -同軸線共焦点センサー
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説明

Gocator 4010製品パラメーター

 

モデル

Gocator 4010

ブランド

LMI

センサータイプ

共焦点センサー

データポイント

1920

フィールドオブビューFOV(mm)

3.5

測定範囲MR(MM)

1.05

正味距離(mm)

9.3±0.2

X方向解像度(µm)

1.9

z方向線形性(MRの%)

0.06

Z方向の再現性の精度(µm)

0.12

スキャン率/時間

4.3〜14 kHz

最大チルト角(度)

45 ~ 85

データインターフェイスGige

ジゲ

電源

24〜48 VDC、77W

保護レベル

IP50

機械的寸法

82 mm×183 mm×459 mm

作業温度

+15度〜+35度

重さ

10.4 kg

 

の製品機能Gocator 4010

 

1。超高精度と高速スキャン

スキャンされた輪郭ごとに1,920のデータポイントを生成し、例外的に明確に細かい詳細をキャプチャします。

高速スキャン率、リアルタイムの3D測定と検査の確保。

1.9μmのX方向解像度で、超高速フィーチャの検出を可能にします。

2。高度な同軸光学設計

シャドウフリースキャン、複雑な幾何学や挑戦的な素材に最適です。

±85度の最大傾斜角は、湾曲と傾斜の表面に優れた適応性を提供します。

反射性材料の優れた性能は、金属、ガラス、磨かれた表面の正確な測定を確保します。

3。汎用性とインテリジェントな検査機能

材料または部品の形状を正確にスキャンして、多様な製造アプリケーションに適しています。

組み込みの3D測定および検査ソフトウェア、統合と操作の簡素化。

自動化された生産ラインとのシームレスな互換性、スマート製造の効率を向上させます。

 

の製品アプリケーションGocator 4010

 

1。半導体および電子製造

  • ウェーハの欠陥検​​出:紫外線は、薄層材料(フォトレジストなど)に浸透し、サブミクロンレベルの表面欠陥またはパターンの歪みを特定し、チップ収量を改善することができます。
  • マイクロサーキット検出:PCBはんだ接合部の品質、隠れた亀裂、またはマイクロ回路の汚染を検出するために使用されます。 UV光は、目に見える光の反射干渉を回避し、欠陥を正確に見つけることができます。
  • 包装材料分析:パッケージング接着層の均一性または泡を検出し、紫外線の吸収率が高い有機材料のイメージングコントラストを強化します。

2。材料科学とコーティングのテスト

  • 蛍光材料分析:化学組成の同定または汚染物質の識別(油の汚れや残留化学物質など)のための複合材料または生物学的サンプルの蛍光特性の励起。
  • コーティングの厚さと均一性:コーティングプロセス中の厚さの一貫性を確保するために、コーティング上の紫外線照明の浸透能力(UV硬化接着剤など)をリアルタイムで監視できます。

3。精密機械加工とマイクロナノ製造

  • UVレーザー処理モニタリング:UVレーザー(355 nm波長など)と併せて、微量処理中の熱罹患ゾーンのリアルタイム観測または変形(エッチング、掘削)。
  • 3D印刷断層撮影検出:紫外線の高解像度を利用して、層ごとに印刷された構造層の精度を検出し、層間層の不整合または不十分な材料硬化を回避します。

 

寸法

 

product-920-395

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